FE-SEMとしての十分な高分解能観察能力を有しつつ、汎用SEMのように搭載試料の大きさ・重量の制約を受けず、簡便な操作でデータ取得を行うことを実現した製品です。鉄鋼などの工業材料や自動車・航空関連部材といった大型で重量のある試料の観察が可能となります。
電子部品や半導体など各種材料の高機能化や高性能化を図るための微細構造の制御、製品品質向上を図るための異物・不良解析といった多様な用途に応じた製品選択をすることが可能です。

【特長】
● 大型試料室搭載低真空対応ショットキーSEM
　非導電性試料に対しては、導電性処理(金属コーティング)をすることなく、且つ大型重量物試料に対しては切断等の破壊処理をせずそのまま試料台に搭載して、多角度からの観察が可能となる高剛性多目的試料室を有しております。
＜搭載試料サイズ＞SU3900SE：最大300mm径　　SU3800SE：最大200mm径
● 高分解能・極表面観察
　新開発のショットキー電子銃を搭載することで、高加速電圧・低加速電圧いずれの領域においても解像度を向上。さらに、極最表面の詳細観察に対する要望にこたえるため、アドバンストモデル(SE Plus)も準備いたしました。また、組成・凹凸情報の取得には取得信号切替可能な低加速高感度反射電子検出器も標準搭載。オプションのUVD検出器と合わせて多種情報取得による多面解析が可能となります。
●自動化・サポート機能
　光学系の自動調整機能を搭載しており、ユーザーの操作負荷を低減します。また、オプション機能【EM Flow Creator】を用いることで、連続画像取得などの操作の自動化サポートを行います。