空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV収差補正TEM/STEM

0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。
走査透過電子顕微鏡｢HD-2700｣搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。
ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。

◎特長
　■日立製照射系球面収差補正器（自動補正機能付き）を標準搭載
　■高輝度・高安定コールドFE電子銃を搭載
　■鏡体や電源等の高安定化による本体性能向上
　■収差補正SEM/STEM像同時観察と、原子分解能SE像観察
　■新型サイドエントリー試料ステージ機構、試料ホルダの採用
　■大立体角EDX^*のデュアル対向配置（シンメトリーDual SDD^*）に対応
　■新構造の本体エンクロジャー・カバーを採用
　■各種日立製高機能ホルダ^*をラインアップ
◎仕様
　■加速電圧
　200 kV、60 kV^*
　■像分解能
　STEM 0.078 nm（ADF-STEM像）
　TEM 0.102 nm（格子像）
　■倍率
　STEM ×20～×8,000,000
　TEM ×100～×1,500,000

　*オプション