日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000II
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SU9000IIは日立FE-SEMの最上位機種です。
低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000IIは、世界最高分解能 0.4 nm(加速電圧 30 kV)を達成しました。
低加速電圧領域では0.7 nm(照射電圧 1.0 kV/オプション)を保証しています。
◎特長
■30 kVで0.4 nmの世界最高の二次電子分解能を保証
■低収差と高輝度安定プローブ電流を両立した新開発コールドFE電子銃
■試料ダメージの軽減などを目的とした低加速電圧性能
■コンタミネーションの影響を軽減させた超高真空試料室
■さまざまな設置環境下でも、高いパフォーマンスを実現するための高剛性フレームと耐騒音カバー
■サイドエントリー方式(試料交換位置が高分解能観察位置)による迅速かつ高分解能観察
◎仕様
■二次電子分解能
0.4 nm(加速電圧 30 kV) 0.7 nm (照射電圧 1.0 kV)*1
自社試料のSEM像から最小の粒子間Gapを測定
*1 リタ―ディング機能ユニット(オプション)使用時。
1 kV分解能数値はリタ―ディング用平面ホルダー/Top検出器(オプション)使用時の値です
■STEM分解能(オプション)
0.34 nm
■倍率
低倍率モード:80~10,000倍(写真倍率) 220~25,000倍(実表示倍率)
高倍率モード:800~3,000,000倍(写真倍率) 2,200~8,000,000倍(実表示倍率)
■加速電圧 0.5~30 kV(0.1 kVステップ)

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営業品目
電子顕微鏡,電子顕微鏡周辺装置、走査プローブ顕微鏡、白色干渉顕微鏡、DNAシーケンサ