最⾼分解能 × ⾼スループット × ⾃動/省⼒化
新しいフラグシップモデル「SU9600」誕⽣。
半導体の微細化や先端材料の開発には、ナノレベルでの形態観察が不可⽋です。⽇⽴ハイテクは、サブナノメートル分解能を保証するSEMの開発に取り組んできました。
「SU9600」は、従来機^＊1から継承した0.4 nm（30 kV）の世界最⾼分解能^＊2と、安定した⾼分解能観察とスループット性能により、次世代材料の研究‧評価を⼒強く⽀援します。
＊1：SU9000II ＊2：2025年10⽉現在

◎仕様
　■電子銃：冷陰極電界放出形電子銃
　■二次電子分解能
　　0.4 nm（加速電圧 30 kV）
　0.6 nm （照射電圧 1.0 kV）*1
　　自社試料のSEM像から最小の粒子間Gapを測定
*1 リタ―ディング機能ユニット（オプション）使用時。
1 kV分解能数値はリタ―ディング用平面ホルダー/Top検出器（オプション）使用時の値です
　■STEM分解能（オプション）
　　0.34 nm（加速電圧：30 kV / 走査透過電子像による格子像）
　■倍率
　　80～3,000,000倍
　■加速電圧
　　0.5～30 kV