パークシステムズのNX-Waferは、製造環境における様々なサイズのウェーハサイズに対応したウェーハ用完全自動AFM装置です。微細な表面荒さ、長距離プロファイリング、自動欠陥検査（ADR）機能に対応しています。この完全自動化に対応した産業用AFMは、クロストーク除去（XE）で生まれたアーティファクトのない計測や非接触モードによるプローブの長寿命化によるコスト削減も実現しているので、まさに理想的な自動AFMです。

・多彩なウェーハサイズに対応（～300mm径まで各種）
・クリーンルーム仕様・遠隔制御
・自動チップ交換
・ウェーハ自動測定のための多種のフロントエンドモジュール（EFEM）
・CMPプロファイリング用の長距離移動ステージ（オプション）
・自動欠陥検査（ADR）オプション