パークシステムズのNX-Waferは、製造環境における様々なサイズのウエハサイズに対応したウエハ用完全自動AFM装置です。微細な表面荒さ、長距離プロファイリング、自動欠陥検査（ADR）機能に対応しています。この完全自動化に対応した産業用AFMは、クロストーク除去（XE）で生まれたアーティファクトのない計測や非接触モードによるプローブの長寿命化によるコスト削減も実現しているので、まさに理想的な自動AFMです。

・多彩なウエハサイズに対応（～300mm径まで各種）
・クリーンルーム仕様・遠隔制御
・自動チップ交換
・ウエハ自動測定のための多種のフロントエンドモジュール（EFEM）
・CMPプロファイリング用の長距離移動ステージ（オプション）
・自動欠陥検査（ADR）オプション