最大300mmの大型試料に対応する、原子間力顕微鏡（AFM）ソリューションです。低ノイズフロア、熱ドリフトの最小化、および高い機械的安定性を備えることで、ナノスケールにおける高精度かつ高い再現性の測定を実現します。 直交型スキャンシステムおよびTrue Non-Contact™モードを搭載し、試料へのダメージを抑制しながら高分解能イメージングを可能にします。これにより、繊細な試料に対しても安定した測定と高い信頼性を確保します。 自動プローブ交換やレーザービームアライメント機能に加え、自動スキャンパラメーター設定、複数ポイントでの連続測定、データ解析機能などを統合し、測定プロセスの自動化と効率化を実現します。これにより、オペレーションの簡素化と生産性の向上に貢献します。 高度な性能と直感的な操作性を兼ね備え、研究開発から産業用途まで幅広い分野において、ナノスケールのイメージングおよび解析に対応する汎用性の高いプラットフォームです。
・最大300㎜のウェハーに対応
・XY、Zスキャナ完全独立機構
・クローズドループ XY スキャナ：100 µm × 100 µm
・Zスキャナ：15µm
・自動プローブ交換、自動プローブ認識、自動レーザーアライメント