２００㎜の大型試料に対応した最先端原子間力顕微鏡です。ノイズフロアを劇的に低減し、熱ドリフトを最小限に抑える機械構造を備え、卓越した安定性を提供します。高速なZサーボ性能と改善されたハイパワーサンプルビューにより、作業効率とイメージング能力が向上しました。プローブ認識から交換、レーザービームアライメントまでの全てが自動化され、200mmサンプルの全領域が観察できるマクロ光学系などの機能により、生産性が最大限に向上します。光学式オートフォーカス、ナビゲーション、複数の座標での連続測定、自動AFMスキャンパラメーター設定、自動データ解析など、複雑な操作を簡素化する機能を多数搭載しております。

・最大200㎜のウェハーに対応
・XY、Zスキャナ完全独立機構
・クローズドループ XY スキャナ：100 µm × 100 µm
・Zスキャナ：15µm
・自動プローブ交換、自動プローブ認識、自動レーザーアライメント