ナノスケールでの化学分析と高分解能イメージングを実現する、原子間力顕微鏡（AFM）と光誘起力顕微鏡（PiFM）技術を統合した分析装置です。分子振動に由来する信号を検出することで、数十ナノメートルスケールでの赤外分光および化学イメージングを可能にし、トポグラフィ情報と化学組成の相関解析を高精度に実現します。 トポグラフィ解析に加え、ナノメカニカル特性評価、電気特性評価、熱特性評価など多様な測定機能を備え、単一プラットフォームで包括的な材料評価を可能にします。PiFMモードにより、化学情報と表面形状の同時取得が可能であり、半導体、ポリマー、薄膜、二次元材料などにおける局所的な組成分布や界面解析に有効です。 さらに、自動化プラットフォームを基盤とし、プローブ交換やレーザーアライメントに加えて、赤外ビームの自動アライメント機能を搭載しています。PiFM信号をリアルタイムフィードバックとして活用することで、最適なビーム位置を高精度に自動調整し、安定した測定品質と高い再現性を確保します。これにより、操作負荷を低減しつつ、高効率な分析環境を提供します。 本装置はFXプラットフォームを基盤としており、FX300 IRは最大300mmウエハ、FX200 IRは最大200mmウエハに対応し、研究開発から半導体プロセス評価まで幅広い用途に適用可能です。

・大型サンプル、300mm/200mm半導体ウエハ対応
・Park PiFM分光法採用