NMT04 ナノメカニカルテストシステムは、in-situ SEM/FIB ナノインデンテーション技術の最先端にあります。FemtoTools 独自の MEMS 技術を活用し、マイクロおよびナノスケールの材料分析で卓越した精度を実現します。

MEMS ベースの力センサーを採用した NMT04 は、卓越した分解能、再現性、および動的応答性を誇ります。本システムは、金属、セラミック、薄膜、およびメタマテリアルや MEMS などのマイクロスケール構造のナノインデンテーションに最適です。さまざまな研究分野に対応するためのアクセサリーによる拡張機能も備わっています。

NMT04 は、マイクロピラー押し込み試験、薄膜やナノワイヤーの引張試験、マイクロビームの破壊試験などの用途に優れています。これにより、塑性変形、亀裂成長、破壊靭性を正確に定量化することができます。コンパクトな設計でほとんどの市販の SEM に適合するため、EBSD や EDX などの手法による包括的な相関分析が可能です。