nXQ55iはガスの封じ込めが重要な用途向けに設計されたくうれしきドライ多段ルーツポンプです。
リーク率5×10⁻⁸ mbar·l/s未満という非常に高いリークタイト性能を実現し、ガス損失を最小限に抑え、安定した性能を提供します。
本製品は品質プロセスの一環として全数リーク試験を実施しており、各ポンプには試験合格を証明するリークテスト証明書が付属します。
特徴① nXQ55iは5×10⁻⁸ mbar·l/s未満のリーク率を達成し、ガス保持性能を大幅に向上させています。
特徴② ヘリウム3、ヘリウム4などの希ガス向けに設計されており、最大 863 L/min (He)の高い排気速度を実現します。
特徴③オイルを使用しないドライ構造により、ダストフリーでクリーンな運転を実現。不快な臭気や粒子の発生を防ぎ、作業環境の快適性を向上させます。

最大排気速度（N2）：55m3/h (913 L/min)
最大排気速度（He）：52m3/h (863 L/min)
到達圧力：3Pa