LPMシリーズは単針型のラングミュアプローブ式プラズマ測定ユニットです。専用処理ソフトを使用して市販の4象限電源を制御することで、
電子温度、プラズマ密度測定を短時間で行うことが出来ます。
1.専用処理ソフトにより高速測定が可能になり成膜装置での使用も可能です。
2.真空容器内で直線移動が可能です（Oリング軸シール式）
3.取付予定の装置にあわせ、ストローク等の選定が可能です。
4.関節を設けた屈曲型をラインナップ。先端を任意で曲げることが可能です。
5.アルミナ管及びプローブを容易に交換することが可能です。
6.市販の4象限電源を使用することが可能です。
7.屈曲型には回転機構付きもラインナップしており、より広範囲での測定が可能です。
8.RFノイズ対策用にフィルターをご用意。（オプション）
9.モーター付の自動駆動タイプもご用意。（オプション）
シングルプローブシステム構成
○自動測定構成
　・シングルラングミュアプローブ
　・ソースメジャーユニット（推奨電源）
　・処理ソフトウェア　LMP-100SCAN
　　+ PC，GPIBコントローラ
○自動測定構成（自動駆動制御）（オプション構成）
　・シングルラングミュアプローブ + コントローラ電源
　・ソースメジャーユニット（推奨電源）
　・処理ソフトウェア　LMP-100SCAN
　　+ PC，GPIBコントローラ