卓上型コーティング装置はラボ向けに開発された真空製膜装置で、DCマグネトロンスパッタリングと、抵抗加熱式のカーボン蒸着が行えます。オプションで膜厚計での膜厚制御コーティング・グロー放電による親水化処理・真空蒸着などの機能を拡張することも可能です。
SEM、TEM、EPMAなどの電子ビーム装置における試料の導電性コーティングや、FIB加工時の保護膜、実験レベルでの金属薄膜や電極の作成など、多目的にご利用頂けます。

●スパッタリング/カーボン蒸着/マルチの３タイプ
●ＴＭＰ内蔵 高真空仕様
●ハイスループット、高品位コーティング
●大型試料対応モデル/ ２元ターゲットモデルも有り
●多種ターゲットに対応