分離されたプラズマソースとコントローラで構成され、プラズマソースはFE-SEM、XPS、EPMAなどの試料チャンバー、もしくは試料交換室などに接続されます。
接続された試料チャンバーや、チャンバー内の試料をプラズマクリーニングすることで、高真空装置におけるカーボン系コンタミネーションを予防・除去します。

●　ターボ分子ポンプ領域で運転可
●　タッチパネルスクリーンと直観的なI/F
●　レシピ登録・管理
●　半導体インライン装置向け
　　反応性・腐食性ガス対応モデルあり