オゾン分解装置 CAT-O3 Teledyne API (IN USA)
本装置は、高濃度オゾンガスを、推奨オゾン安全限度を下回るppm未満のレベルまで安全に分解します。触媒分解法では、金属酸化物触媒を用いてオゾンを受動的に酸素に変換します。
溶接されたステンレス鋼製の筐体で作られており、熱シールドで保護されています。業界の厳しい安全性能要件を満たすよう、綿密に設計されています。

●アプリケーション: 半導体,CVD,TEOS/オゾン,ALD,MOCVD,アッシャー,ウェットベンチ,スプレーツール,その他
●筐体は完全な溶接構造
●迅速な触媒反応
●紫外線波長域に適合する、交換可能な３個のフィルター(標準)
●消耗品やメンテナンスは不要

[仕様]
動作原理: Catalytic
触媒: Manganese Dioxide Based Compound
出力接続部: < 0.01 ppm (well below OSHA requirements)
材質: Material Aluminum with SS fittings
処理能力(最大): Eタイプ 20 SLPM at 340 g/Nm3, Fタイプ 32 SLPM at 340 g/Nm3, Gタイプ 88 SLPM at 200 g/Nm3