40年以上にわたる光学干渉式計測器の開発実績をベースに、精密電子部品から車載部品等の大型試料に至るまでの幅広いサイズのサンプルに対応した 非接触３次元形状測定・解析機能を提供

・最表面の反射情報を的確にとらえるUSIモードによる高い測定正確性を実現。
・高密度&広領域をとらえる測定用5M画素カメラを標準搭載
・ビニング処理により分解能を飛躍的に向上
・チルトヘッド構造により試料傾斜調整時の測定座標の位置ずれ問題を完全解決
・各種3D測定：実装基板用途・MEMS用途・車載部品用途等の業界専用解析にも対応
・リニアリティの高いZ方向 測定ダイナミックレンジ：0.1 nm - 10 mm
・リファレンスシグナル制御による驚異的な測定安定性を実現　
・2 種類の高輝度LED（白・緑）で輝度のロスなく波長限定測定に対応
・Find Surface機能で焦点合せを完全自動化