AYT-12T/12R/12TR自動YθステージはFTIRの試料室に設置しシリコンウェーハの赤外光による透過（12T/12TR）・反射（12R/12TR）測定を行います。12インチウェーハ専用の自動Yθステージを搭載し、専用測定ソフトでマッピング測定を行うことができます。
12インチ以下のウェーハも、測定したいウェーハサイズ専用のホルダ(オプション)をステージに装着することで測定可能です。