小型でありながら、コンフォーマルなコーティングが可能な
パラキシリレンコーティング装置です。
プラズマ技術による新方式を採用し、処理時間が大幅に短縮
になりました。(約80分）
重合したパラキシリレンは、非常に安定した高い結晶性ポリマー
で、絶縁性・耐腐食性・耐溶剤性・耐水性・耐熱性に優れ、非常
に薄膜で均一な厚みのコーティングが特徴です。
目的に応じて、数十ｎｍ～数μｍ程度の膜厚が可能。
湿式のコーティングとは異なり、表面張力による膨らみ等が起き
ないため、均一な膜厚が形成できます。


＜用途＞
・絶縁性能・耐熱バリア：　MEMS・センサー・回路基板等に
・絶縁性・防水・防塵：　精密機器・光学部品・回路部品等に
・耐薬剤性・生体適合性：　ニードル・チューブ・シール等に


＜仕様＞
チャンバー　　　　　ＱＺ Chamber
チャンバーサイズ　 Φ170㎜（6.7ｲﾝﾁ）
周波数/出力　　　 　20KHz～100KHz（可変）/MAX200W
ガス導入口　　　　　1(MFC)　MAX2（オプション）
装置サイズ　　　　　W500×D500×H840mm
電　　　源　 　　 　　110～120VAC、50/60Hz
※仕様は予告なく変更になる場合がございます。