LF周波数の真空プラズマクリーナーで、ガラス・プラスチック・
金・チタン等の表面処理（親水化）に適した装置です。
全ての操作がタッチパネルで設定でき、レシピを作成すれば
レシピを呼び出してスタートボタンを押すだけの簡単操作です。
また、全てのプロセスをパネルでリアルタイムで確認できます。
標準でガス導入用のマスフローコントローラーを1つ装備して
いて、オプションで３つ追加することができます。

＜用途＞
・ガラス・プラスチック・金・チタン・カーボン等の親水化
・PDMSのボンディング（ガラス・PDMS同士等）
・有機物のクリーニング
・SEM・TEM等の前処理
CIONEシリーズ
　電極反転機能を標準装備
　RIEモードでナノエッチングが可能


＜仕様＞
チャンバーサイズ　 　W140×D200×H110mm ～ラインナップ
周波数/出力　　　 　20KHz～100KHz（可変）/MAX100W
ガス導入口　　　　　１（MFC)　MAX４（オプション）
装置サイズ　　　　　W460×D500(620)×H580mm
電　　　源　　　　　110～120VAC、50/60Hz