12μm～80mmの広い範囲を高精度に測定できる厚み計です。独自の非接触光学技術により、硬質・軟質の両材料の厚さを、損傷や変形なく測定できます。多層膜も最大31層まで同時測定可能です。

【特長】
●樹脂シート、PETフィルム、ウエハ、ガラス基板、レンズの計測に最適
●高精度：±0.1 μm
●長期測定再現性：最大±0.02 μm
●NIST規格準拠
●広い測定範囲：12μm から 80mm
●製造プロセスへの組込可能：API, USBまたはイーサネット
●デモ機あり、サンプル測定可能