温度調節範囲・精度 －10～80℃・±0.1～0.2℃で温度調節された液体を循環します。NCC-3100型シリーズは水冷式冷凍機を採用しているので、クリーンルームや周囲温度の高い場所での使用が可能です。電子顕微鏡や分光光度計の光源、反応槽、露光装置やラッピング装置(半導体製造装置)などの温度管理に使用できます。
C・D型は純水(電気伝導度0.1mS/m(1μS/cm)以上)の循環が行なえます。クリーンルームや半導体製造装置の温度調節に適しています。B・D型は水道圧相当の0.2MPaの吐出圧が得られる高圧ポンプ仕様です。