槽内ガスの循環経路を冷却時のみ冷却器へ切り替える構造を採用したクリーンオーブンです。ウエハー、ガラス基板等のキュア、エージングなど高温でのクリーン加熱に性能を発揮します。更に不活性ガスを槽内に導入することで、低酸素雰囲気での熱処理が可能です。

・温度範囲：RT+70℃～500℃
・温度分布（※槽内の2/3）：±5℃（at 500℃）
・清浄度（※温度安定時）：クラス100（ISO：クラス5）
・到達酸素濃度：20ppm以下
・熱風フロー方向：前面吹き出し型強制循環　
・槽内寸法（mm）：700W×700H×500D　※W寸法の開口部は630mm
・試し焼き設備あり