EMR100は、350℃高温環境下でエレクトロマイグレーション評価ができるシステムです。 本システムを使用することで、エレクトロマイグレーションを発生させ、加速試験を実現し業務効率化に貢献します。
WLR200は、酸化膜のTDDB(絶縁破壊)評価をウェハープローバとセットで評価可能です。パッケージの評価も可能です。