純水や液体材料を気化（ガス化）する気化システムです。トルネードフロー方式による高効率気化により、低温度での安定気化を実現。半導体プロセスで使用される"液体材料:High-k材料など"の安定気化システムとして最適なモデルです。
キャリアガス制御用マスフローコントローラと液体材料の流量計測用マスフローメータのセットアップで、高効率な気化システムが完成します。