■M4 TORNADO - 微小な試料から大型試料を高速・高精度・高解像度マッピング分析 最小スポット径20µm以下のポリキャピラリー光学系を搭載し、ICチップなど微小スケールの電子部品に対応。また、最大190 x 160mmの元素マッピングが可能で、プリント基板の不良解析にも最適。

■M4 TORNADO PLUS - 非破壊・非接触で、CからAmまでを高感度・高速マッピング 超軽元素用の大口径シリコンドリフト検出器を2本搭載し、軽元素や極微量元素の検出が可能。被写界深度が深くなる特許アパーチャーマネジメントシステムAMSを搭載、実装基板など表面に凹凸がある試料にも対応したハイスペックモデル。