Mシリーズは、特殊吸着剤を利用したPSA方式により、空気から窒素ガスを発生させる装置です。マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。 窒素の他、酸素、オゾン、クリーン・ドライ・エアーもラインナップ しています。

・ガス純度(N₂+Ar)：99-99.999%
・吐出圧力：0.25-0.5MPa
・発生量：1.5-33NL/min
・大気圧下露点：-60℃ 以下
・電源：AC100V