幅広い流量レンジ（N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで）に対応するマスフローコントローラ/メータです。
表示器一体型で瞬時/積算流量表示、アラーム設定等の各種機能が使用可能です。通信機能（RS485）を搭載、アナログ入出力0-5VDCも搭載しています（4-20mAに変更可能）。

対象ガス：N₂,Air,H₂,He,Ar,O₂,CO₂等
流量レンジ：10SCCM～100SLM（N₂換算）
応答性：2～3sec以内
精度：±1～1.5% F.S.
再現性：±0.5% F.S.
デジタル通信：RS485