プラズマ・クリーニング装置 EXAM型
￥16,500,000～
WETからDRYへと要求の中，多目的ドライプラズマ・クリーニング装置“EXAM”は電子部品等の有機物除去を始めとする基板クリーニングや，金属酸化膜の除去，表面改質による濡れ性向上・接着性の向上，更にエッチングやアッシング装置としてもご活用頂けます。
・処理ステージ：□250（又は□450）
・プラズマモード：ハード＆ソフト
・処理方式 ：枚葉処理
・高周波ユニット：300W・500W・1kW
・装置寸法 ：550×1050×1285mm
・ガス系 ：O2・Ar・CF4他
・排気装置付
・オプション ：冷却ステージ他
金田理化工業(株)
- 〒273-0003 千葉県船橋市宮本4-4-10
- TEL 047-424-2411 FAX 047-424-2662
- URL http://www.knr.jp
- E-Mail kaneda@knr.jp
営業品目
超音波洗浄機，超音波加工機，微粒分散機，プラズマ・クリーニング装置，
環境試験機，電気炉，真空装置，クリーンルーム用品，実験室設備，化学プラント，
其他科学機器総合取扱及び設計製作