気体（蒸気）状態の原料を基板上に薄膜として成膜する化学気相成長システム
【特徴】
◎回転式設計により試料を均一加熱、傾斜角度は調整可能。
◎太鼓型構造石英管により大容量サンプルに対応。
◎LCDタッチパネル式温度コントローラー搭載、16曲線・各30セグメントのプログラム可能。
◎過昇温および熱電対断線時の異常に対する音声・視覚警報を搭載、加熱部の電源を自動的に遮断。
◎真空ポンプ、マスフローコントローラ、冷却システムを準備。
【加熱システム仕様】
・最高温度：1200/1400/1700℃
・加熱長：300/440/660mm
・石英管外寸：Φ60/80/100/120mm、アルミナ管外径：Φ60/80mm
・最大使用圧力：0.02MPa
・温度制御精度：±1℃
・電力：単相または三相200V 50/60Hz
・中国製