本装置は超音波発振器にて発生させた微細水蒸気ミストをトレースに使い，クリーンルームにおける気流の流れを可視化できる装置です。小型・軽量で優れた操作性を発揮し，汚染がないため実稼働中のクリーンルームの気流の状態を簡単に可視化できます。

本体材質　　硬質塩化ビニール
トレーサー　純水・超純水
フィルタ　　HEPA 0．3μm
　　　　　　99.97%以上
電源　　　　AC100Ｖ・充電池
外形寸法　　105×60×160mm
重量　　　　約1kg