試料表面すれすれに入射した励起Ｘ線により、表面近傍元素を選択的に効率良く励起できる、高感度な元素分析装置です。全反射条件を満たすことで低いバックグラウンドを実現します。また、入射角度可変機構も搭載しており、得られる情報の深さを変更することが可能です。標準的なMo励起源に加え、30keV以上の高エネルギー励起源も搭載し、幅広い元素範囲の測定が可能です。10μL程度の微量液体を基板上に点滴・乾燥させることで、数ppb～の高感度測定ができます。
・X線管：Mo (600W)
・モノクロメータ：Mo (17.4keV), 高エネルギー (35keV)
・検出器：SDD
・分析元素範囲：Al ～ U
・入射角度範囲：-0.05 ～ +0.45°
・試料交換機：16試料
・試料サイズ：26×76mm,φ30mmディスク,最大厚み5mm