製品情報

マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置 GD-Profiler2

¥43,000,000~

rf-GD-OES(GDS)分析装置は、Arプラズマにより試料をスパッタリングさせ、スパッタされた原子を原子発光させることで、元素分析を行うことができる迅速かつ簡単な表面分析装置・深さ方向元素分析装置です。薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの研究開発・生産技術・品質管理の分野において、幅広く活用されています。高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。

迅速分析により、多検体の分析や成膜プロセスの管理に最適
パルススパッタリングなど新スパッタ法を用いることで、有機系試料の測定が可能
High Dynamic Detection機能により、半定量分析も可能

✔測定元素:H(1)~U(92)
✔検出下限:数10ppm~
✔深さ分解能:数nm~
✔スパッタ速度:1~20μm/min

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営業品目

自動車計測機器、環境用計測機器、科学計測機器、医用計測機器、半導体用計測機器の製造販売。 分析・計測に関する工事、その他の建設工事ならびにこれらに関する装置・機器の製造販売。