製品情報

分光エリプソメーター UVISEL Plus

¥21,000,000~

シンプルな操作で偏光変調法によるエリプソメトリーパラメータの取得が可能です。位相変調技術に基づき、紫外域190 nmから近赤外域2100 nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・高S/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。高感度なため、測定が困難な試料の薄膜構造もより詳細に解析できます。高感度位相変調法では、Å オーダの光学定数を評価可能です。高性能な分光特性のため、85 μm* の厚膜を分析できます。 * 厚さは膜質に依存

Åオーダーの極薄膜から85 μmの厚膜まで測定可能
数種類のスポット径選択可能
機械的な振動のない位相変調技術および光電子倍増管(PMT)による高精度測定


✔[波長範囲]190~920 nm(2100 nmまで拡張可)
✔[測定膜厚範囲]1Å~85 μm(膜種・構造によって異なる)
✔[スポット径]標準仕様:3 mm(ゴニオメータ90°時) オプション:マニュアルタイプ Ф0.05 mm、 Ф0.1 mm、 Ф1 mm
✔[ステージ]XY軸固定、電動から選択可能
✔[入射角度]マニュアル式、電動式から選択可能
✔[オプション]光学観察機能、温度可変ステージ、液体測定セルなど

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営業品目

自動車計測機器、環境用計測機器、科学計測機器、医用計測機器、半導体用計測機器の製造販売。 分析・計測に関する工事、その他の建設工事ならびにこれらに関する装置・機器の製造販売。