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自動走査型X線光電子分光分析装置 PHI X-tool

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 タッチパネル操作と日本語ソフトウェアを採用した全自動走査型XPS分析装置です。測定位置と測定条件をタッチで指定するだけで、初めてのユーザーでも最高クラスのモノクロXPS測定を簡単に行うことができます。
 XPS測定の操作は最短3ステップで完了、定性、定量、カーブフィットから日本語レポート作成まで、すべて自動で実現します。また、イオンエッチングによる深さ方向分析、ビームスキャンによる面分析など、高度な分析にも対応します。

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営業品目

各種表面分析装置[走査型X線光電子分光分析装置(XPS)、
硬X線光電子分光分析装置(HAXPES)、二次イオン質量分析装置(SIMS)、
走査型オージェ電子分光分析装置(AES)]、各種オプション ほか