自動走査型X線光電子分光分析装置 PHI X-tool
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タッチパネル操作と日本語ソフトウェアを採用した全自動走査型XPS分析装置です。測定位置と測定条件をタッチで指定するだけで、初めてのユーザーでも最高クラスのモノクロXPS測定を簡単に行うことができます。
XPS測定の操作は最短3ステップで完了、定性、定量、カーブフィットから日本語レポート作成まで、すべて自動で実現します。また、イオンエッチングによる深さ方向分析、ビームスキャンによる面分析など、高度な分析にも対応します。

アルバック・ファイ(株)
- 〒253-8522 茅ヶ崎市萩園2500
- TEL 0467-85-6522 FAX 0467-85-9406
- URL https://www.ulvac-phi.com
営業品目
各種表面分析装置[走査型X線光電子分光分析装置(XPS)、 硬X線光電子分光分析装置(HAXPES)、二次イオン質量分析装置(SIMS)、 走査型オージェ電子分光分析装置(AES)]、各種オプション ほか