走査型電子顕微鏡(SEM)用の波長分散型X線分析装置(WDS)。特徴的な横型スペクトロメーターで、凹凸試料の分析にも対応。エネルギー分散型X線分析装置(EDS)をしのぐ分析能力で、数十eVのピーク重複やppmオーダーの微量元素解析を可能にします。EDSシステムAZtecLiveと一体化した操作フローで初心者の方でも簡単に操作ができます。EDS/WDSスペクトル重ね合わせ、同時マッピング、定量分析ができます。新しいシミュレーション機能で、最適なWDS分析条件を事前に検証し、効果的な分析をサポートします。
WDSスペクトロメーターは分光結晶の組み合わせによりWave500とWave700から選択。分光結晶は最大で6結晶まで搭載可。