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原子間力顕微鏡(AFM) NX-HDM

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パークシステムズのNX-HDMは、ハードディスク基板、小口径のWafer上の欠陥、スキャン、 解析を高速に行うことのできる自動欠陥検査(ADR)用AFM装置です。NX-HDMは欠陥検査工程のスループットを格段に高速にします。クロストーク除去(XE)テクノロジーで生まれたアーティファクトのない正確な計測を可能とし、更に完全非接触モードによるプローブの長寿命化とコスト削減ができます。正確な形状、高分解能粗さ、ADRなどの計測と解析を自動で実施します。
・XY、Z完全独立機構
・クローズドループXYスキャナー:100μm x100μm
・Zスキャナー:15μm

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営業品目

Park Systems Corp.(Suwon, Korea)製 走査プローブ顕微鏡(SPM)