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WEB科学機器総覧

日立AFM環境制御型ユニット AFM5300E

¥32,000,000~

最適な環境下で測定
真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型ユニットAFM5300Eなら、大気型AFMでは実現できない環境下でも測定可能です。高真空状態での電気計測や加熱・冷却状態での試料の物性マッピングなどが可能で、専用の雰囲気遮断ホルダを使用してSEM、IM、AFM間を大気に曝露することなく搬送できます。

【特長】
● 真空環境では表面の酸化や吸着水の影響を低減させ、信頼できる電気物性評価を実現。
● 真空・液中・ガス・温度・湿度など様々な環境制御中の物性評価を実現。
● 雰囲気遮断ホルダにより、SEM、イオンミリング、AFM装置間を大気暴露することなく観察可能。

【仕様】
サンプルサイズ:直径20 mm、暑さ10 mm
真空制御:9.9×10-5 ㎩以下(オプション)
温度制御:-120~300℃/RT~800℃(オプション)
湿度制御:20~80%rh(オプション)

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営業品目

電子顕微鏡,電子顕微鏡周辺装置、走査プローブ顕微鏡、白色干渉顕微鏡、DNAシーケンサ