最適な環境下で測定

真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型ユニットAFM5300Eなら、大気型AFMでは実現できない環境下でも測定可能です。高真空状態での電気計測や加熱・冷却状態での試料の物性マッピングなどが可能で、専用の雰囲気遮断ホルダを使用してSEM、IM、AFM間を大気に曝露することなく搬送できます。

【特長】
● 真空環境では表面の酸化や吸着水の影響を低減させ、信頼できる電気物性評価を実現。
● 真空・液中・ガス・温度・湿度など様々な環境制御中の物性評価を実現。
● 雰囲気遮断ホルダにより、ＳＥＭ、イオンミリング、ＡＦＭ装置間を大気暴露することなく観察可能。

【仕様】
サンプルサイズ：直径20 mm、暑さ10 ｍｍ
真空制御：9.9×10-5 ㎩以下（オプション）
温度制御：-120～300℃/RT～800℃（オプション）
湿度制御：20～80％rh（オプション）