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光電子分光装置

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極紫外から硬X線領域まで幅広いエネルギー領域に対応した高分解能角度分解光電子分光装置です。研究対象に適した光源と分析器を選択し、試料準備槽や各種オプションを搭載したシステムを設計ご提供いたします。既存装置への増設、接続も対応可能です。

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営業品目

表面分析装置
光電子分光装置
走査プローブ顕微鏡
成膜装置