製品情報

組込用小型高圧ポンプ SSBLシリーズ

¥585,000~

組込用の高圧ポンプで、流体(純水、IPA、NMP)を昇圧して、半導体・液晶・太陽光発電パネル等にノズルで噴射して膜を剥離する用途で使用されます。駆動方式はエア駆動式で供給するエア圧力をレギュレータによって調整することでピストンの動作回数が増減し、吐出圧と吐出流量が変化します。流量と吐出圧力に応じて3機種の中から選択することが可能です。 【型式】SSBL-20A-FKM(-KLZ) 吐出圧~9.8MPa、吐出量1.13L/min  【型式】SSBL-30A-FKM(-KLZ) 吐出圧~14.7MPa、吐出量0.71L/min 【型式】SSBL-37.5A-FKM(-KLZ) 吐出圧~17.6MPa、吐出量0.58L/min シール材の材質によりFKM仕様は純水/IPAに、KLZ仕様はNMPに対応します。 吐出圧~25MPaの別機種(FSBL)あります。

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営業品目

スラリー供給装置、純水加熱装置、高圧ポンプ、高圧/昇圧/真空ポンプユニット