製品情報

非接触型厚さ測定装置“VarioMetric”

お問い合わせください

Variometricは、ウェハの厚さ測定装置です。先端半導体パッケージングのためのウェハシンニング、またはFIB回路修正や故障解析におけるウェハのエッチングまたは研磨といった工程において、ウェハやチップの厚さをモニタし的確に終点検出を目的で開発されました。比較的厚い測定対象(~1mm)に好適です。~1e20の高ドープチップや表面ラフネスがある試料も精度良く測定できます。

(株)日本レーザーこの会社の他の製品も見る

営業品目

レーザー発振器各種,レーザー関連装置・機器,レーザー応用計測装置,
レーザー応用加工装置,その他光学機器・装置