製品情報

マルチスペクトル・エリプソメーター FS-1

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LED光源と特許取得の新MWE技術で
短時間にサブモノレイヤーの極薄膜を高精度に解析


特許取得の新光学経路を採用した
 新エリプソメーター

サブモノレイヤーやオングストローム薄膜
 高精度計測

新製品の6色LED光源システムリリース!!
 4色LED(可視光領域)にUVもしくはIR領域を
 選択して搭載可能!

サンプル本来の膜厚in situでリアルタイム
 計測を実現

全自動マッピングモデルで迅速に膜厚分布
 計測を実現

操作は簡単!複雑な設定は不要

●エリプソの低コスト化を実現

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営業品目

環境測定装置(植物光合成、光量子、大気CO2/H2O、土壌呼吸) 電子顕微鏡試料前処理装置(コーティング、エッチング、精密切断、精密研磨) 分析・解析関連装置(ナノ粒子計測、膜厚測定、接触角)等