製品情報

超微小押込み硬さ試験機 ENT-NEXUS

¥15,000,000~

エリオニクスの新たなENTシリーズ、ENT-NEXUS(ネクサス)誕生。フレームとユニットの自由な組み合わせが可能なモジュール構成を採用し、ナノインデンテーション試験をはじめ表面力測定など多彩な測定が可能。ISO14577-1に準拠したナノインデンテーション試験に対応。
・高荷重ユニットでは5μN~2,000mNまでの試験が可能。金属材料から高分子材料まで幅広い材料の硬度試験に対応。
・軽荷重ユニットでは0.5μN~10mNに対応。100nm以下の極薄膜のナノインデンテーション試験をも可能にする、軟質材料(弾性率:数Gpa以下)や、押し込み深さ10nm以下の測定に対し優れた繰り返し再現性と安定性が得られます。UV硬化樹脂、Low-k膜等の機能性樹脂やその他シリコーンゴム等の弾性材料、DLC膜などの極薄い硬質膜への力学特性評価に適しています。
その他、表面力ユニットを取り付けることで、物体間に働く表面力を測定することが可能です。

(株)エリオニクスこの会社の他の製品も見る

営業品目

走査電子顕微鏡,フィールドエミッション走査電子顕微鏡,粗さ解析装置,
小型ECRイオンシャワー装置,超微小押込み硬さ試験機,電子ビーム描画装置,
ディスクマスタリング装置