試料表面のサブミクロンオーダーの微細形状を、非接触・非破壊でスピーディーに3D観察・測定が行える顕微鏡です。専用対物レンズと専用光学系により急傾斜部形状や反射率の異なる材料などでも確実に測定が行えます。また、ISOに準拠した表面粗さ測定が可能で、従来の接触式粗さ計と互換性を持つ粗さモードを搭載しています。
●光源：405nm半導体レーザー/白色LED
●顕鏡法：レーザー共焦点、レーザー共
　焦点微分干渉、カラー（明視野）、カラー微分干渉、簡易偏向、HDR
●総合倍率：54×-17,280×
●平面分解能：0.12μm
●XYステージ：100×100mm（電動/手動）
　　　　　　　300×300mm（電動）