AZtecLive/UltimExtreme∞は走査電子顕微鏡(SEM)用エネルギー分散型X線分析装置(EDS)。SEM用ウインドウレス・大面積SDD、UltimExtreme∞で、従来のSEM-EDSの常識を超えた10nmを切る空間分解能を実現します。
ウインドウレス技術で低エネルギーX線の感度を増大。Liを含む軽元素および低エネルギーピークの検出・解析ができます。SDD先端部の特殊設計により立体角を拡大、ナノ領域からの微小なX線信号も効率よく収集。
ウインドウつきのUltimMax∞検出器との同時搭載・切り替えにより、幅広い分析条件でのEDS分析にも対応します。

■ ソフトウェア　AZtecLive Standard, AZtecLive Advanced, AZtecLive Expert
■ 検出器 UltimExtreme∞