レーザー顕微鏡のプロであるナノフォトン社がお届けする「300 mmウエハーステージ」を搭載した半導体分析専用のラマン顕微鏡です。独自のステージナビゲーションシステムにより、異物・欠陥検査装置で取得した座標データを読み込み、異物や欠陥の位置に移動することができます。業界最高の分解能で高精度な異物同定を可能にします。ウェハー前面の高速ラマンイメージングも標準機能です。
●空間分解能：350 nm～
●本体サイズ：1276×1350×1320 mm 、390 kg（除振台含む）
●レーザー照射方式：ポイント照明 ／ ライン照明
●走査方式：レーザー走査
●分光器の焦点距離：550 mm