4Å以下の段差測定再現性 薄膜段差計の世界標準

触針式薄膜段差計Dektakシリーズは50年以上に渡り世界10,000台以上の導入実績を持つ、世界で最も採用されている膜厚測定器のゴールドスタンダードモデルです。高剛性アーチ形設計により業界最高の測定再現性を実現し、直感的な操作性を提供します。

■業界最高クラスの測定速度
・4Å以下の測定再現性 ​
・スキャン安定性を向上させる革新的なシングルアーチトップ設計​
・ガラスブロックスライド構造による高い直進性と再現性を実現​
・スマートエレクトロニクス設計による低ノイズの実現

■4Å以下の究極の測定再現性
・直観的な操作性を有するVision64のインターフェイス設計
・Vision64 をライセンスフリー提供
・自己アライメント機能による簡単で安全なスタイラス針交換 ​

■究極の使いやすさを追求
・フレキシブルな自動測定機能
・豊富な解析機能を標準装備（2D/3D）
・手動型→自動型へのフィールドアップグレード対応可