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WEB科学機器総覧

日立走査電子顕微鏡 SU3800/SU3900

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日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。
数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。
多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。

◎特長
①多目的大型試料室を標準搭載し、大型試料の解析に対応
  SU3800 : 最大試料寸法 200mm径、最大搭載可能高さ 80mm
  SU3900 : 最大試料寸法 300mm径、最大搭載可能高さ 130mm
②さまざまな自動機能の強化により、操作性がさらに進化
 ■オート調整のアルゴリズム改良。待ち時間が1/3以下。(※S-3700N比)
 ■独自のIntelligent Filament Technology(IFT)を搭載
  フィラメントの状態を自動で監視・制御することで、フィラメントの長寿命化を実現。
 ■複数領域の広域観察を可能にする、Multi Zigzag (オプション)
③解析目的に応じた検出器、ソリューションを用意
 ■多様な観察ニーズに対応する検出器。
 ■多目的大型試料室により豊富なアクセサリを搭載可能。
  SEM/EDSインテグレーションシステム
  3次元モデル表示・計測ウェアHitachi map 3D
  画像計測ソフトウェアImage Pro®

◎仕様
■二次電子分解能 3.0nm(加速電圧30kV、WD=5mm、高真空モード)
        15.0nm(加速電圧1kV、WD=5mm、高真空モード)
■反射電子像分解能 4.0nm(加速電圧30kV、WD=5mm、低真空モード)
■倍率 ×5~×300,000(写真倍率) ×7~×800,000(実表示倍率)
■加速電圧 0.3~30kV

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営業品目

電子顕微鏡,電子顕微鏡周辺装置、走査プローブ顕微鏡、白色干渉顕微鏡、DNAシーケンサ