製品情報

スピンドライヤー

¥1,575,000~¥7,875,000

本機はウエハー・ガラス・セラ
ミックス等の基板を遠心力でスピン
乾燥を行う装置です。特にクリーン
乾燥を目的にし,蓋にULPAフィル
ターを組み込むことによりパーティ
クルの付着を防止しております。
型式 SPD-2004~SPD-1202
   SRD-2001~SRD-1201
特長
・2”~12”のウエハー等の乾燥
・大型ガラス基板等の乾燥
・磁性流体シールの採用
・静電除去器取りつけ可
・様々なオプション有り

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営業品目

ウエハー洗浄装置・スピンドライヤー・スピンコーター・現像装置・エッチング装置・石英管洗浄装置・クリーンベンチ・ドラフトチャンバー・ブラシスクラバー・
剥離装置・IPAベーパー乾燥機・各種保管庫