好評のレーザー光と白色光によるハイブリッドコンフォーカルマイクロスコープが さらに進化しました！2つのコンフォーカル光学系の採用で低倍率～高倍率域まで高画質観察・高精度三次元測定が可能です。
さらに光干渉形状測定，反射分光膜厚測定など多彩な機能を1台で実現します。
■白色光によるコンフォーカルカラー観察
■バイオレットレーザーによる高倍率，高分解能観察
　透明体に強い6波長光搭載 (436，486，514，546，578，633nm)
■最速120フレーム/secによる高速三次元測定
■使いやすさを追求し、計測をアシストするNew画像解析ソフト
■微細な凸凹も見える微分干渉観察
■微細な凸凹も測れる光干渉形状測定
■薄い膜厚も測れる反射分光膜厚測定
＜オプション＞
■様々な基板上の表面形状を自動で測定できるオリジナル自動測定ソフト
■様々な基板検査を可能とするオリジナル自動欠陥検査ソフト「AI検査」