リモートプラズマクリーナー EM-KLEEN
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分離されたプラズマソースとコントローラで構成され、プラズマソースはFE-SEM、XPS、EPMAなどの試料チャンバー、もしくは試料交換室などに接続されます。
接続された試料チャンバーや、チャンバー内の試料をプラズマクリーニングすることで、高真空装置におけるカーボン系コンタミネーションを予防・除去します。
● ターボ分子ポンプ運転領域で使用可
● タッチパネルスクリーンと直観的なI/F
● レシピ登録・管理
● 半導体インライン装置向け
反応性・腐食性ガス対応モデルあり


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営業品目
■プラズマクリーナー
■卓上コーター
■ナノプロービング製品
■電気特性測定製品
■加熱引張試験ステージ
■光学顕微鏡用CLステージ