Thermo Scientific Scios 2 DualBeam システム
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アウトレンズ型でありながら低加速SEM性能を高めたGa+ イオン型多次元解析用デュアルビームシステムです。強磁性材料においてもFIBの加工、SEMによる高分解能観察を可能にしました。また、SEM鏡筒内に配置された3つの検出器により、FIB加工をしながら材料のモルフォロジー、組成、結晶情報を詳細に捉えることが可能です。その高い低加速SEM性能の利用により、高精度でFIB加工の終点検知が可能であり、ピンポイントのTEM試料作製にも有効です。
SEMイメージ分解能：1.4nm@1kV (最適WD, BD)
最低ダメージ処理イオンエネルギー：500V
オプション：大気非暴露試料搬送、試料冷却
サーモフィッシャーサイエンティフィックグループ 日本エフイー・アイ(株)
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営業品目
透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、デュアルビーム (FIB-SEM) 装置