真空原子間力顕微鏡（AFM） NX-Hivac Park社NX-Hivac型は、真空チャンバー内に最大５個まで同時に試料をセットし、電動ステージと自動計測機能（StepScan）で連続測定を行うことを可能にしています。従来の真空ＡＦＭでは操作性に大きな制約が存在していましたが、そうした問題を解決した最新型真空ＡＦＭシステムです。半導体の故障解析等、半導体試料における電気特性評価において高スループットで高い精度の測定を実現します。特にSSRM（拡がり抵抗法顕微鏡）においては大気中ではプローブの触圧や空間分解能の問題が技術者にとって大きな課題になっていましたが、真空AFMによって大幅な改善されます。また、最新の真空制御・モニター機構及びSmartScanにより従来の真空AFMでは実現できなかった高い操作性で計測が可能です。 ・真空度：１ｘ10⁻⁵Torr以下 ・XY,Z完全独立機構、XYスキャナー：50μm　又は100µm　 ・Zスキャナー:15μm ・ステージ：XYモータステージ、試料数：最大5個